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使用离子束进行金属表面抛光加工的特点及应用

发布时间:2019-05-20发布人:Stabswache

  离子束加工在微细加工和精密加工中是一种最有前途的原子、分子加工单位的加工方法。其特点可归纳如下
  (1)加工精度和表面质量高离子束加工是靠微观力效应,被加工表面层不产生热量,不引起机械应力和损伤。离子束既直径可达1m以内,加工精度可达mm级。
  (2)加工材料广泛可对各种材料进行加工。由于加工原理是力效应,故对脆性、半导体、高分子等材料都可加工。由于加工是在真空下进行,故离子注入适于加工易氧化的金属、合金和半导体材料等。
  (3)加工方法丰富离子束加工可进行去除、镀膜、注人等加工,利用这些加工原理出现了多种多样的具体方法,如成形、刻蚀、减薄、曝光等,在集成电路制作中占有极其重要的地位。
  (4)控制性能好,易于实现自动化
  (5)金属表面抛光机应用范围广泛可根据加工要求选择离子束的束斑直径和能量密度,直径小、能量密度大的离子束用于去除加工;直径大、能量密度较低时适于镀膜、刻蚀;而直径大、能量强的离子束适于注入加工。

 
 

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