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双频激光干涉用于同轴度的精密测量

发布时间:2019-08-28发布人:Stabswache

  双频激光直线度测量仪,在长距离上测量直线度,具有很高的精度和可靠性,这种仪器经过改造也可用于长距离同轴度的精密测量轴度测量仪器应具有以下特点:
  l)能够迸行间断测量,在同轴度测量中,定心靶子从一个孔移到另一个孔时,光传感元件离开光路是不可避免的,因此当传感元件暂时离开光路再回到光路中,仪器要能够继续照常工作,即暂时挡光并不影响测量结果,这是测量同轴度所必需的
  2)测量系统对激光束的平漂和角漂具有自适应能力,光束漂移应不影响测量结果
  3)光学系统对大气扰动应具有较强的抵抗力
  4)由于测量同轴度时,定心靶必须从一个孔移到另一个孔,还要进行找正,测量所用时间较长,因而要求仪器具有较好的长时间稳定性。
  现有的双频激光直线度干涉仪是无法满足上述要求的。
  首先双频激光直线度干涉仪在信号处理上采用锁相倍频计数技术,不允许信号中断,否则计数立即无效。而在同轴度测量时,定心靶从一个孔到另一个孔的过程中,挡光是不可避免的,因而信号中断也是不可避免的,因此双频激光直线度干涉仪不能用于测量同轴度。
  第二,即使对信号处理系统进行了改进,也有近程死区和测量范围的矛盾,实现相位测量的一个必要条件是:在测量范围内相位的变化范围必须在±π之间。

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