现代精密加工和超精密加工从加工成形的原理和特点来分类，可分为去除加工、结合加工和变形加工三大类：

　　去除加工又称为分离加工，是从工件上去除一部分材料，如车削、铣削、磨削、电火花加工等。

　　结合加工是利用理化方法将不同材料结合(Bonding) 在一起， 按结合的机理、方法、强弱等又可分为附着(Depo ii on) 、注人(In ection) 和连接(Joi ted) 三种。附着加工又称沉积加工， 是在工件表面上覆盖一层物质，为弱结合，如电镀、气相沉积等。注人加工又称渗人加工，是在工件表层上注人某些元素，使之与基体材料产生物化反应，以改变工件表层材料的力学、机械性质，属强结合，如氧化、渗碳、离子注人等。连接是将两种相同或不同材料通过物化方法连接在一起，如焊接、粘接等。

　　变形加工又称为流动加工，是利用力、热、分子运动等手段使工件产生变形，改变其尺寸、形状和性能，如锻造、铸造、液晶定向等。

　　表0-2表示了该三大类精密加工和超精密加工方法，可见其加工范围十分广泛。

　　从材料在加工过程中的流动来分析，去除加工是使材料逐步减少，一部分材料变成切屑，这种流动称为分散流。结合加工是使材料在加工过程中逐步增加，这种流动称之为汇合流。近年来，提出了电锵、晶体生长、分子束外延，快速成形加工等加工方法，突破了传统加工大多局限于分离去除加工和表面结合加工的概念，特别是快速成形加工是一种利用离散/堆积成形技术的分层制造方法，将一个三维空间实体零件分解为在某个坐标方向上的若干层有很小厚度的三维实体，由于厚度很小，可按二维实体成形，再迭加而成为所需零件的原型。变形加工是指在加工过程中材料基本不变，称为直通流。