超精密抛光机的加工精度远远高于普通机床的加工精度。如抛光机的定位精度,普通镗床为0.02mm,糟密镗床为0.002~0.005mm,超精密机床为0.01m。超精密抛光机之所以能达到如此高的精度,主要是从设计、制造及使用维护等方面采取了一系列措施。
 

　　(1)结构设计　在进行设计时,对精密抛光机的结构,特别是对其总体布局、主运动部件进给运动部件,要充分考虑到热、力等因素的作用。应采取相应的措施减小机床内部的发热量和热变形,提高抛光机的刚度和抗振性,减少唐损及其对精度的影响,并且尽可能缩短内联系传动链,提高内联系传动副的传动精度。
 

　　(2)技术要求　应提高主要零件的几何精度和降低表面粗糙度,确保制造质量。其中又以提高主轴部件、导轨、丝杠、分度蜗轮副以及某些传动齿轮的几何精度为主,因为这对提高机床加工精度***为直接。
 

　　(3)制造

　　1)超精密抛光机关键零件的加工和装配,应在恒温条件下进行。

　　2)超精密抛光机的主要零件,往往要经过多次时效处理,以***大限度地减少内应力影响。经时效处理后的零件,在超精加工时能达到较高而稳定的精度。

　　3)高糟度的测量仪器和先进的测量方法是获得高精度的必要手段。对于超精密机床的一些零件,测量用的仪器,其精度都高于工件制造精度。这样才能保证零件的尺寸精度及形状位置精度。

　　4)在超精密机床上,往往采用一些特殊装置。例如,误差补偿装置、变形补偿装置、间歇补偿装置等,以提高加工精度。
 

　　(4)使用　超精密加工必须在稳定的加工环境条件下使用。稳定的加工环境条件主要是指温度、湿度、净化和防振四个方面的条件。