离子束加工装置与电子束装置基本类似,是由离子源、真空系统、控制系统、电源等部分组成。

　　离子源又称离子枪、其作用是产生离子束。其原理是将情性气体充人真空室中,利用高频放电、高速电子撞击、电弧放电等方法,使情性气体被电离为等离子体,并在强电场作用下将正离子从离子源出口孔引出成束所谓等离子体是由数量相等的正离子与负电子所组成的混合体,呈中性,在物理学上称之为除固、液、气三态外的物质第四态

　　离子源有多种类型以适应不同的用途,离子产生的方式也各有不同,有通过放电、高速电子撞击、高温强光、放射线照射等方法将中性原子电离。常用的离子源主要有双等离子体型、离子震射(流)型和高频等离子体型等。

　　(1)双等离子体型离子源它是利用阴极和阳极间4阴极5-阳概()6-阳的直流电弧放电,使氬、氪、氙等惰性气体在阳极小孔以上的低真空中离子化。

　　(2)离子簇射(流)型离子源

　　(3)金属抛光加工抛光机高频等离子体离子源　简称高频离子源,它是利用高频振荡器在放电室中产生高频电磁场,以加速自由电子与惰性气体原子进行碰撞,使之电离而产生等离子体。其特点是可以获得金属离子、化学性质活泼的气体离子,与其他离子源相比,其束流强度较低。