铸件、锻件和热处理件中存在内应力,机械加工件也或多或少地存在内应力,这些残留于工件内部的应力都会引起变形。一般讲,残余应力越低,工件的变形就越小,零件加工精度越高;工件热处理后组织越稳定,服役期间的组织变化越小,工件内的应力变化也越小,服役期的精度也就越能长久保持。必须采用不同的热处理工艺,降低工件的残余应力和稳定组织,以达到精密抛光机加工件的精度要求。常用的方法是去除应力退火和冷处理。
 
　　由于合金工具钢、轴承钢等钢淬火冷却后,组织中除了马氏体外,还有较多的残余奥氏体。如 CrWMn钢(合金工具钢)淬火后约有15%(体积分数)的残余奥氏体,这不仅降低了淬火钢的硬度和耐磨性,而且在使用过程中残余奥氏体要发生转变,故会引起零件尺寸形状的变化。这对尺寸精度要求高的零件,如量具、精密丝杠等是极为不利的。为了消除残余奥氏体,生产上常采用冷处理。冷处理必须在摔火后立即进行。
 
　　冷处理是把淬火冷却到室温的零件,再放入零度以下的某种介质如-80℃干冰)中继续冷却使残余奥氏体转变为马氏体。
 
　　冷处理后还须进行回火对于高合金钢为了防止开裂和变形冷处理和回火可以交替进行。