超精加工又称超精研加工,是采用细粒度的油石在一定的压力和切削速度下作往复运动,对工件表面进行光整加工的方法,属固结磨粒压力进给加工。超精加工能降低加工表画粗键度值,特别是镜面加工,比珩磨或高速磨削的效率高。但保证零件的尺寸误差和几何形状误差的作用较差,零件的加工精度主要靠前道工序保证。超精加工的表面几乎不产生变质层,并使工件表面层具有残余压应力,从而提高了零件的接触疲劳强度。
 

　　超精加工具有设备简单、操作方便、效果显著、经济性***等***点,可用来加工内燃机曲轴、凸轮轴、活塞、活塞销等零件,能对各种材料,如钢、铸铁、黄铜、磷青钢、铝、陶瓷、玻璃、花岗岩、硅和储等进行加工,并能加工外圆、平面、内孔、锥面及各种曲面。近年来超精加工在航空、航天、大规模集成电路、精密仪器和精密量具制造中得到越来越广泛的应用。