电子束加工装量主要由电子枪系统、真空系统、控制系统和电源系统等组成,如图67所示。

　　电子枪用来发射高速电子流,它是在真空条件下,利用电流加热阴极1发射电子束,经控制栅极2初步聚焦后,由加速阳极3加速。阴极可用纯钨、钨钽、硼化等材料制成。控制栅极为中间有孔的圆筒,在其上加比阴极较负的偏压,起束流强度控制和初步聚焦作用。在加速阳极上加比阴极为正的高压,起吸引和加速电子流的作用。

　　真空系统是抽真空,真空度为133×(10-2~104)Pa,因为在真空中电子才能高速运动,发射阴极不会在高温下被氧化,同时也防止被加工表面和金属燕气氧化。为了消除加工时金属蒸气对电子发射不稳定的影响,电子束加工多采用开式真空系统,即不断地抽出加工中产生的金属蒸气。

　　控制系统由聚焦装置、偏转装量和工作台位移装置等组成,控制电子束束斑大小、方向和工件位移。

　　电源系统提供稳压电源、各种控制电压及加速电压。