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抛光机抛光对象平面度误差的测量方法

发布时间:2019-08-30发布人: Stabswache

  平面度误差的测量方法可分为直接测量法和间接测量法。直接测量法是将被测的实际表面与理想表面直接进行比较两者之间的线值距离即为该被测表面的平面度误差值间接测量法则是通过测量实际表面上若干点相对测量基准的高度差或倾斜角作为原始数据,然后再换算为以线值表示的平面度误差。
  在自然界中,可以用一小块液体表面作为一种水平仪自然的平面,但要获得这样的平面必须克服气流和振动造成的起伏和由于表面张力造成的边缘效应;要有较严格的工作环境。
  常见的平面度测量方法如图108所示。图a是用指示表测量,将被测零件支承在平板上,将被测平面上相距***远的三点调成距测量平板等高。按一定布点测量被测表面。指示表上***大与***小读数之差即为该平面的平面度误差值
  图b是用平晶测量平面度误差。将平晶紧贴在被测平面上,由产生的干涉条纹,经过计算得到平面度误差值。此方法适用于高精度的小平面。
  图c是水平仪测平面度误差。水平仪通过桥板。用放在被测平面上,用水平仪按一定的布点和方向逐点测量。经过计算得到平面度误差值
  用自准直仪和反射镜测量如图d所示,将自准直仪固定在平面外的一定位置。反射镜放在被测平面上。调整自准直仪,使其和被测表面平行,按一定布点和方向逐点测量。经过计算得到平而度误差值。
 

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