超精密磨削是近年来发展起来的最高加工精度、最低表面粗糙度的砂轮磨削方法,一般是指加工精度达到或高于0.1pm,表面粗糙度低于0.025m,是一种亚微米级、纳米级的砂轮磨削加工方法。超精密磨削的形成和发展远比超精密金刚石刀具车削和锐削要缓慢得多,金刚石刀具超精密切削技术的研究比较成熟,它目前主要是用于加工钢、铝及其合金等软金属,不宜切削钢、铁,淬火件和陶瓷、玻璃、半导体等硬脆材料。金刚石刀具在切削铁碳合金时,切削所产生的局部高温使金刚石中的碳原子很容易扩散到铁素体中面造成金刚石的碳化磨损,又称扩散磨损;金刚石刀具在切削淬火件时,由于淬火件硬度高,易造成崩刃和刃口磨损。同样,在微量切削陶瓷、玻璃、半导体时,剪切应力很大,临界剪切能量密度也很大,切削刃处的高温和高应力使刃口产生较大的机械磨损。虽然,目前正在进行一些研究工作,如寻求在种保护气氛下或在低温下,用金刚石刀具切削钢、铸铁材料;探寻金刚石刀具在切削脆硬材料时,从脆性转变为塑性的临界切削速度等切削时空条件等,但超精密磨削显然是一种重要的有前途的超精密加工方法,特别是超硬磨料微粉砂轮超精密磨削更显示了它的生命力。近年来,超精密磨削的发展很快,出现了一些与超精密磨削有关的磨削加工,如镜面磨削、微细磨削、高速磨削等。

　　镜面抛光机磨削一般是指加工表面粗糙度达到R2002~0.01m,表面光泽如镜的磨削方法,它在加工精度的含义上不够明确,比较强调了表面粗糙度的要求,从精度、表面粗糙度和表面层力学和物理性质的相应性、统一性来分析和理解,应该认为镜面磨削是属于精密磨削和超精密磨削范畴,它是一种生动的俗称。

　　微细磨削也是属于精密磨削和超精密磨削范畴,它强调了加工微小零件上的徵小尺寸,砂轮的直径显然很小,要达到理想的磨削效果,砂轮的速度要很高,通常,微细磨削除外圆、平面磨削外,突出了小尺寸的内圆磨削。

　　高速磨削的特点显然是高速和超高速,由于高速要求砂轮主轴的高精度、高刚度、高平稳性,以及整个机床及其各部件都应满足高速磨削的要求,因此,高速磨削也是可用于精密磨削和超精密磨削的加工方法。