超精密切削是一种原子、分子级加工单位的去除加工方法，要从工件上去除一块材料，需要相当大的能量，这种能量可用临界加工能量密度8(J/cm²)和单位体积切削能量w(J/cm³)来表示。临界加工能量密度8是指当应力超过材料弹性极限时，在切削相应的空间内，由于材料缺陷而产生破坏时的加工能量密度。单位体积切削能量w是指在产生某加工单位切屑时，消耗在单位体积上的加工能量。

　　加工单位不同会引起临界加工能量密度的变化，表0-4列举了常用几种去除加工在材料微观结构的各种缺陷情况下的临界加工能量密度8。可见晶格原子、分子破坏所需的临界加工能量密度***大，点缺陷、位错缺陷和微裂纹次之，晶界、空隙和裂纹***小。

　　加工机理的不同，也会引起临界加工能量密度的不同。在那些利用位错缺陷和微裂纹的塑性变形来进行微量切削，如超精密切削和磨削，其临界加工能量密度比较大，用于使其产生塑性变形的能量几乎都转变为热量，因此，微量切削会大量发热。对那些利用脆性破坏的分离去除加工，如加工玻璃时，由于材料中的微裂纹(一般玻璃的微裂纹分布间隔约10pm左右)所引起的张应力集中而导致材料产生分离和断裂，其临界加工能量密度很低，几乎不存在发热现象；如果加工应力集中地作用在比微裂纹的分布间隔更狭窄的区域，如1um左右，则玻璃将会产生粘性流动式的滑移，需要很大的临界加工能量密度，从而产生发热现象，这就是玻璃在精密磨削或抛光时会发热的原因。

　　材料不同，临界加工能量密度8、单位体积切削能量W也不同，各种材料都有其一定的理论值，实际上，由于材料微观缺陷分布或材质不均匀性，实际的临界加工能量密度和单位体积切削能量比理论值要低很多。