精密航天零件案例

   
 　　(1)切削类机床

　　1)超精密车床用于加工高表面质量、高形状精度的有色金属或非金属零件的外圆、平面、球面和非球表面等。如用于加工激光或红外的平面、球面或二次曲面等反射镜,以及用于磁盘、配油盘、转子孔、VIR辊轴、有色金阀芯等的加工。

　　2)超精密铁床用于加工平面度与表面粗糙度要求很高的平面、多面体反射镜等。

　　3)超精密镗床用于孔和孔系的超精密加工,如活塞、销孔等

　　切削类机床主要应用天然单晶金刚石刀具对铜、铝、储等软金属进行加工。

　　车床是应用***早的切削类机床,目前发展也较快,不仅向高精度发展,也向高刚度、大型化发展,加工的材料也向光学玻璃等硬脆性材料发展,国内目前这方面的进展缓慢。超精密铣床的发展技术已趋完善,目前市场上对大型平面(600mmx150mm)的加工有一定的需求,因此能够加工大平面工件的铁床是一个发展方向。超精密镗床是在前两种机床的基础上发展起来的种机床,它要求具备功能可靠的微动调刀机构,加工高效性是其发展方向,它可用于汽车的活塞销孔的加工。
 
 

　　(2)磨削类机床

　　1)超精密砂轮磨床用于加工外圆、孔、平面等

　　2)超精密砂带磨床用于加工外圆、磁头等。磨削类机床主要对黑色金属、陶瓷、半导体功能材料等一些硬脆材料进行加工,用于加工尺寸和形状精度要求很高的伺服阀、空气轴承主轴和陀螺仪超精密轴承类零件等。

　　超精密砂轮磨床主轴均采用液体动压轴承,工件主轴有采用液体静压轴承的,也有采用液体动压轴承的,工件主轴轴承有向气体静压轴承发展的趋势。磨床的整体发展趋势是向更高精度,能加工较为复杂的光学曲面方向发展,可用于加工透镜模具及大型光学透镜。
 
 

　　(3)研磨类机床
       研磨类机床按其工艺方法分为以下几类:磁性研磨机、滚动研磨机、电解研磨机和超声波研磨机。另外,传统的研磨机床,即利用开橹研具结合金刚石、立方氮化硼等研磨剂进行加工,也占有一定比例。

　　此类机床的特点是:机床中各个功能部件的精度并不要求达到超精级,其加工的关键在于加工原理及方法。通过应用一定的原理方法,完成人的技艺无法完成的工作此类机床可以满足加工多样化的要求,使超精密加工应用领域得以扩大。
 
 

　　(4)抛光类机床

　　抛光类机床按其工艺方法分为以下几类

　　1)弹性发射抛光机床可用于加工硅片等表面。

　　2)机械化学抛光机床可用于抛光砷化镓(GaAs)、磷化镓(GaP)、铌化锂( LibO3)等,也可用于大量生产的金属、陶瓷等的抛光。

　　3)液体动力浮动抛光机床可用于硅片等表面的加工。

　　4)磁流体(磁悬浮)抛光机床可用于加工黑色金属、有色金属和非金属材料,加工过程控制极为方便。

　　5)研抛机床它同时具有研磨和抛光的特点,可用于加工黑色金属、有色金属和非金属等材料;用于加工现有的精密线纹尺时,表面粗糙度可达R0008m,加工效率也较高。抛光类机床的特点与研磨机床相同。
 

军工武器装备案例

 

　　(5)精密特种加工设备

　　l)电子束加工设备:用于加工集成电路的半导体基片,主要运用电子的热效应进行加工

　　2)离子束加工设备:用于透镜表面的微量修复、金刚石刀具的原子加工、蚀刻大规模集成电路图形和光学衍射光栅、进行干式镀膜加工、以及改变半导体、高速钢和硬质合金刀具组织结构等这些设备的核心部件是电子枪及离子束发生器,通过其特有的加工方法进行超精密加工。这类设备如配以超精密运动部件及控制系统,其应用前景将会很大。特种设备还包括激光束加工设备、X射线刻蚀设备等。
 
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