在超精密加工中,振动是一种十分有害的现象,它将严重影响被加工零件的表面质量和使用性能。在超精密加工中产生振动的振源有来自机床内部的振动(如驱动系统的振动)和来自机床外部的振动。目前减小振动影响的途径主要有三个方面:提高机床的稳定性:消除或减少机床内的振动;减小外界振动的影响超精密机床要求高稳定的机床结构,即各部件尺寸稳定性***,刚度高、变形小、结构的抗振减振性能***。
 

　　(1)各部件的尺寸稳定性***
 

　　1)采用尺寸稳定性***的材料制造机床部件,如用陶瓷、花岗岩、尺寸稳定性***的钢材合金铸铁等。
 

　　2)各部件经过消除应力、时效、冰冷处理、銌件缓慢冷却等方法使部件有高度的尺寸稳定性。
 

　　1)当机床运动部件位置改变,工件装卸或负载变化,受力作用变化等,均将造成变形要求结构刚度高、变形量极小,基本不影响加工精度。
 

　　2)各接触面和连接面的接触良***,接触刚度高,变形极小。