涡流式光饰机
超精密机床使用金刚石刀具作超精密切削时,要求机床工作时及其平稳,不允许有振动因此必须提高机床结构的抗振性,以减少机床内部所有的振动。措施有:
1)各运动部件都经过精密动平衡,消除或减少机床内部的振源。机床内部的主要振源是高速转动的部件,如电动机、主轴等,这些转动的部件必须经过精密动平衡,使振动减小到***低;有可能产生振动的还有电动机轴和主轴的不同轴,空气轴承的振荡,滚珠丝杠和螺母的不同轴,导轨运动部件直线运动的变化,加工工件有偏心重量等。当发现机床有振动时,必须找出振源,尽量消除或减少振动。
2)采用很大的地基或重量很大的床身,以降低超精密机床的自振频率。
3)在机床结构的易振部分人为增加阻尼,减小振动。
4)选用对振动衰减能力强的材料(如花岗岩、人造花岗岩等)制造机床的结构件。铸铁对振动的衰减率高于钢材,花岗岩对振动的衰减率是钢材的5倍,人造花岗岩对振动的衰减率又高于天然花岗岩。
由于花岗岩有很***的振动衰减率,现在很多的超精密机床和三坐标测量机的床身、立柱和溜板已采用花岗岩制造,获得很***的使用效果。瑞士 Studer公司用人造花岗岩 Granitan制造高精度S系列磨床的床身,效果甚佳,已成为专利,在其它工厂中推广使用。英国 Granfield公司的OACM2500大型精密机床,床身采用焊接钢结构,中间用人造花岗岩填充,有很***的振动衰减能力。