精密和超精密加工必须具备相应的检测技术和手段，不仅要检测零件的精度和表面粗糙度，而且要检测加工设备及基础元、部件的精度。

　　高精度的尺寸、几何形状及位置尺寸等可采用分辨力为0.1~0.01jm的电子测徽计、分辨力为0.01~0.001pm的电感测微仪、电容测微仪，以及自准直仪、双频激光干涉仪、圆度仪等来检测。

　　轴系回转精度低速时静态检测可用电感测微仪、电容测微仪与基准球来测量；高速动态检测可用电容测微仪和同步示波器按测量定点峰值变化的方法来测量。基准平尺与电子测微计分离平尺误差的方法来检测。

　　导轨直线度可采用电子水平仪、自准直仪和激光干涉仪等角度测量的方法来检测，也可用表面形貌和表面粗糙度的检测分为接触式和非接触式两类。接触式测量多用触针式的表面轮廓仪或表面形貌仪来检测，所用传感器多为电感式、压电晶体式等，接触式测量最大的缺点是检测时会划伤被测表面；非接触测量可用气动法、光纤法、电容法、超声微波法、隧道显微镜法、激光光斑法等。

　　表面层的应力状态、变质层深度、微裂纹等缺陷可用X光衍射法、激光干涉法等来进行测量。精密检测和自动化检测是检测技术的两个重要方面，精密检测寻求检测精度的极限，自动化检测寻求非接触在线测量和误差分离、补偿技术。误差分离技术是用多个传感器在多处多个方位上同时进行检测，利用计算机硬软件进行处理，分离各种误差成分并分析造成误差的原因，为误差补偿创造条件。可见，误差分离与误差补偿关系密切，可以说，误差分离是误差补偿的先决条件，也可说误差分离是误差检测的重要组成部分。误差补偿又可分为静态误差补偿和动态误差补偿两类。静态误差补偿是事先测出误差值，按需要的误差补偿值设计制造出补偿装置，用硬件(如校正尺等)或计算机软件建模，在加工时进行误差补偿。动态误差补偿是在在线检测的基础上，通过计算机建模和反馈控制系统进行实时补偿，因此，需要建立一个闭环自适应误差补偿系统。

　　误差预防、误差补偿、误差预报是精密加工和超精密加工中提高加工精度的重要有效举措。由于季节的温差，为了节省能源，标准室温在夏季可定为23℃、冬季可定为17℃，事实误差预防是通过提高工艺系统精度、保证工作环境的条件等来减少误差源、减少误差的影响，具有治本性；误差补偿是通过修正来抵消或消除误差，具有治标性；而误差预报是根据误差出现的发展趋势，得出预测值，进行相应的补救措施，并可真正做到无滞后的实时补偿，具有主动性。