精密加工和超精密加工的工作环境对加工质量的影响很大，因此，工作环境是保证加工质量的必要条件。工作环境主要有温度、湿度、净化和防振等方面的要求。

　　(1)恒温　环境温度可根据加工要求控制在20℃±(1~0.02)℃，甚至达到(20±0.0005)℃。达到恒温的办法可采用专门恒温室(间)的整体恒温和恒滤罩的局部恒温。整体恒温可采用大恒温室、中恒温室、小恒室、地下恒温室等多层套间结构，逐渐得到控制精度越来越高的室温；同时采用地板恒温方式使温度分布均匀。证明，这样的规定是可行的。

　　(2)恒湿　在恒温室内，一般湿度保持在55%~60%，以防止机器的锈蚀，石材吸水膨胀，以及会影响一些仪器如激光干涉仪的零点漂移等。

　　(3)净化　在超精密加工时，空气中的尘埃可能会划伤被加工表面，有时尘埃的大小可能比磨料的颗粒还要大，从而会破坏加工表面，使磨料加工不能达到预期效果，因此要进行空气的洁净处理。

　　进行空气净化的主要方法是滤清，进行净化的房间称净化室或超净室。净化可分为整体净化和局部净化，局部净化如净化工作台、净化腔等，其方法是在净化区内通人正压洁净空气，可防止外界空气进人，以保持净化效果，且比较经济。由于人是要进人净化室工作的，工作人员的衣物、头发、皮肤都会带人尘埃，因此，在进人净化室前应更换专门的衣服，甚至是特制的无尘服，进行风淋后，再进室工作，以控制人员活动时产生尘埃的影响，保持洁净度。

　　由于直径大于0.5pm的尘埃对超精密加工的表面质量影响最大，故通常用每立方英尺体积中直径大于0.5pm的尘埃数来表示空气净化等级，一般净化要求在100级~10000级。

　　(4)防振在精密加工和超精密加工时，振动对加工质量的影响比较大，其振源来自两方面，一是机床等加工设备产生的振动，如由回转零件的不平衡，零件或部件刚度不足等；二是来自加工设备外部，由地基传人的振动，如邻近机床工作时产生的振动，这就需要将加工设备安放在带防振沟和隔振器的防振地基上，同时可使用空气弹簧(垫)来隔离低频振动，灵活方便，效果良好。

　　精密加工和超精密加工有时还需要一些特殊工作环境，如防磁、防静电、防电子辐射、防声波、防X射线、防原子辐射等，可根据需求进行整体环境或局部环境的处理。